ダミーウェーハ
「ダミー」という言葉は、「偽の」または「シミュレートされた{.}」ダミーウェーファーを意味します。これは、通常、偽のウェーハとも呼ばれますが、通常はパターンがないか、いくつかのパターン化されたレイヤー.の主なアプリケーションシナリオは次のとおりです。
半導体機器のデバッグとキャリブレーションに使用して、正式な生産の前に最適な状態にあることを確認する.
新しいプロセスを導入したり、既存のプロセスを調整したり、テストと最適化を可能にして、大量生産ウェーハ{.にリスクを減らすことができます
ウェーハをテストします
テストウェーハ(エンジニアリングウェーハとも呼ばれます)は、完全なプロセスフローを経て、さまざまなパターンと構造を含む{.の主な機能は次のとおりです。
新しいチップ製品の導入中、テストウェーハを使用して製造プロセスを検証および最適化し、最終的に大量生産を可能にします.
大量生産ウェーハでプロセスの問題が発生する場合、テストウェーハは対応するDOE(実験の設計)テストに使用され、プロセスの改善に役立ちます.
大量生産ウェーハ
大量生産ウェーハは、最終製品が顧客要件を満たすことを保証するために、生産プロセス中にこれらのウェーハが厳密な品質管理を受ける顧客に出荷される半導体デバイスを生産するために使用されます.
なぜこれらのタイプのウェーハは別々に分類されるのですか?
区別は、主にコストと重要性の観点からコストと重要性.に基づいています。
大量生産ウェーハ>テストウェーハ>ダミーウェーハ.
大量生産ウェーハは顧客に出荷され、会社全体の経済的ライフラインを表します{.高品質と高収量の両方で生産を完了することが不可欠です.プロセスパラメーターとワークフローは比較的固定されており、変更は100%安全で信頼できる.でなければなりません
したがって、テストとプロセスの最適化中に貴重な大量生産ウェーハを無駄にすることを避けるために、低コストでより柔軟なダミーウェーハとエンジニアリング(ENG)ウェーハは使用されます.












