ウェーハノッチとは何ですか?
ノッチとは、シリコン ウェーハの直下に刻まれた小さな溝で、通常は V または U 字形です。ノッチには2つの機能があります。 1 つは、シリコン ウェーハの結晶方位をマークすることです。<100>, <110>, <111>もう 1 つの機能は、半導体製造装置内でシリコン ウェーハを正確に位置決めし、位置合わせできるようにすることです。一般に、ノッチは 8- インチおよび 12- インチのウェーハに見られます。
ノッチはどんな感じですか？
上の図に示すように、ノッチのサイズは SEMI 規格に厳密に準拠する必要があります。
1. Vw はノッチの全幅を表し、そのサイズはシリコン ウェーハの直径と厚さに関係します。
2. Vh はノッチの深さであり、シリコンウェーハの端から溝の底までの垂直距離を示します。通常は 1.0 ～ 1.25 mm の範囲です。 Vh はノッチの位置合わせ精度を確保するために重要です。
3. AngV、つまりノッチ角度。 AngV はノッチの角度であり、両側の溝の端の間の角度です。通常は 89 度から 95 度の間です。この角度は、ノッチの形状と位置において決定的な役割を果たします。
4. R1、R2はノッチの両側の角の半径を表します。これら 2 つの半径は、溝の角の滑らかさを決定し、ノッチの応力集中に影響を与え、シリコン ウェーハの機械的特性に影響を与えます。
5. Vr はノッチ底部の曲率半径であり、溝底部の円弧の大きさを示します。 Vrはカーブの形状やノッチの滑らかさを変えることができます。 Vr を大きくするとノッチ底部が平坦になり、応力集中が軽減されます。
6. ノッチの方向: 溝の方向はウェーハの特定の結晶方位と平行であり、±2 度の偏差は許容されます。