薄膜堆積の均一性はどの程度ですか?
薄膜の均一性とは、ウェハー全体にわたる薄膜の厚さ分布の一貫性を指します。均一性が良好であるということは、ウェハー上のどの位置でも薄膜の厚さが非常に近いことを意味します。
薄膜均一性にはどのような種類がありますか?
一般的には、次のタイプが考慮されます。
●ウェーハ内均一性: 単一ウェーハ内の均一性。
●ウェーハ間の均一性: 異なるウェーハ間の均一性。
●ロット間の均一性: 異なるバッチのウェーハ間の均一性。
均一性はどのように計算されますか?
ウェーハ内均一性を例にとると、その標準偏差は次の式で計算されます。
この数式は、各データ ポイントとデータの平均間の差の二乗の平均の平方根を計算します。
σ（標準偏差）: データの分散度を表します。標準偏差が大きいほど、分散が大きくなります。
N: 測定されたデータ ポイントの合計数。
ティ: i 番目のデータ ポイントの厚さの値。
平均: すべてのデータ ポイントの平均値。
(ti−平均)^2: 各データ ポイントと平均の差の二乗。
∑: 要約。
式は少しわかりにくいので、例を挙げます。
薄膜の厚さのデータポイントのセットが 55.1、54.8、55.3、54.9、55.0、54.7、55.2、54.9、55.1、54.8 であると仮定します。
●まず、これらの 10 点の平均を計算します。平均=54.98。
●次に、それぞれの厚さと平均値の二乗差を計算します: {{0}}.0144、0.0324、{{10}}.1024、0.0004、0.0004、0.0784、0.0484、0.0004、0.0144、0.0324。
●これらの差の二乗を合計し、平均を求めます: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.0784 + 0.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996。
●最後に、標準偏差を計算します: σ=0.193。