1. まず外観を確認します。亀裂、傷、穴、欠けがあってはなりません。
2. 次に、物理的な指標に注目します。 物理指標には結晶方位、結晶方位の偏り、種類、厚さ、辺の長さ、直角度など数多くあります。 対応する試験装置を使用して、結晶の種類、方向などを決定します。 対応する測定器を使用して5点の厚さ、公差、辺の長さ、対角の長さ、公差、直角度などを測定します。 多くの太陽電池生産ラインにはシリコン ウェーハの厚さ要件があるため、太陽電池プロセスの場合、最も重要なことはシリコン ウェーハの厚さと厚さのばらつき (TTV) です。 厚みが最小生産厚みより薄い場合、破片化率が増加し、利益が破片に投げ込まれることになります。 さらに、炭素と酸素の含有量はシリコンウェーハの品質にとって非常に重要であるため、ランダムな検査を実行する必要があります。 もちろん、通常であればこの2つの指標で問題はありません。 問題があれば、後述する電気的パラメータに直接反映されます。 インジケーターが入っています。
3. 最後に、電気的指標、主に少数キャリアの寿命と抵抗率を見てください。 シリコンウェーハのグレードは主にこの2つの指標によって決まります。 例えば、Aレベル単結晶シリコンウェーハの少数キャリア寿命は10μs以上であることが要求され、抵抗率は0-6Ω・cmです。
高品質のソーラーシリコンウェーハを選択するにはどうすればよいですか?
Jul 20, 2023伝言を残す