廃シリコンウェーハはリサイクルできますか?

集積回路用の高純度半導体シリコンや太陽光パネル用シリコンの生産量は年々増加しています。 ウェーハの製造工程では、トリミング後のシリコンインゴットであるシリコンの約60％が、切断や研磨などの廃水処理とともに廃棄されます。 高純度シリコンの回収コストは非常に高くなります。 シリカ泥を窒化物ベースの構造セラミックスに変換できれば、半導体産業や太陽光発電産業における環境問題の解決に役立つでしょう。
製造過程で発生する不良シリコンウェーハやソーラーシリコンウェーハはリサイクル可能です。
シリコンウェーハの回収方法は、半導体デバイスの製造工程で発生・廃棄された規格外のシリコンウェーハを選別工程で分別し、化学処理工程や物理処理工程で表面改質を行う方法です。 表面が削れてます。 その後、シリコンウェーハの表面を薬液活性化処理により活性化し、マイクロ波乾燥処理により乾燥させることにより、規格外のシリコンウェーハを太陽電池のシリコン基板として再利用することができる。