ウエハーとはシリコン半導体回路を作るためのシリコンウエハーのことで、その原材料はシリコンです。 高純度の多結晶シリコンをシリコン結晶種と溶解・混合し、ゆっくりと引き上げて円柱状の単結晶シリコンを形成します。 シリコンインゴットを研削、研磨、スライスした後、シリコンウェーハ、つまりウェーハを形成します。
現在、国内のウェーハ生産ラインは主に8-インチと12-インチです。 炭化ケイ素は、SiC の化学式を持つ無機物質であり、珪砂、石油コークス (または石炭コークス)、木材チップ (緑色の炭化ケイ素を製造するには塩が必要です) などの原料を用いて抵抗炉で高温で製錬されます。 )。 炭化ケイ素基板材料は、主にスマートグリッド、鉄道交通、電気自動車、新エネルギー送電網接続、スイッチング電源、産業用モーター、家庭用電化製品の電源コンポーネントに使用されます。
炭化ケイ素基板とウェーハの違い
Jul 13, 2023
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