
シリコン ウェーハはエレクトロニクス産業で最も重要な原材料の 1 つであり、主に集積回路、コンデンサ、ダイオード、その他のコンポーネントの製造に使用されます。集積回路は、トランジスタ、コンデンサ、抵抗器などの多数の基本部品で構成される小さな回路であり、コンピュータ、通信機器、娯楽機器などのさまざまな電子機器で使用できます。半導体シリコンウェーハは、集積回路を製造するためのコア材料の 1 つです。半導体シリコンウェーハのサイズは直径に応じて2インチ(50.8mm)、4インチ(100mm)、6インチ(150mm)、8インチ(200mm)、12インチ(300mm)に分かれます。半導体製品ごとに異なるシリコンウェーハサイズとプロセスが使用されます。
半導体シリコンウェーハのサイズ分類
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シリコンウェーハサイズ |
厚さ |
エリア |
重さ |
対応工程 |
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2インチ |
50.8mm |
279um |
20.26cm2 |
1.32g |
5um |
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4インチ |
100mm |
525um |
78.65cm2 |
9.67g |
3um-0.5um |
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6インチ |
150mm |
675um |
176.72平方センチメートル |
27.82g |
0.35um-0.13um |
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8インチ |
200mm |
725um |
314.16平方センチメートル |
52.98g |
90mm-55mm |
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12インチ |
300mm |
775279um |
706.12cm² |
127.62g |
28mm-3mm |
大型シリコンウェーハの利点 • 1 枚のシリコンウェーハでより多くのチップを製造できる: ウェーハが大きいほど、端や角の無駄が少なくなり、シリコンウェーハの利用率が向上し、コストが削減されます。 300mm シリコンウェーハを例にとると、同じプロセスで使用可能な面積は 200mm シリコンウェーハの 2 倍となり、チップ数で最大 2.5 倍の生産性のメリットが得られます。 • シリコンウェーハの全体的な利用率の向上:円形のシリコンウェーハ上に長方形のシリコンウェーハを製造すると、シリコンウェーハのエッジの一部の領域が使用できなくなりますが、シリコンウェーハのサイズが大きくなると、未使用エッジの損失率が減少します。・設備能力の向上:薄膜成膜→フォトリソグラフィー→エッチング→洗浄という基本的なプロセスフローと基本的な開発条件はそのままに、チップの平均生産時間が短縮され、設備稼働率が向上し、会社の生産能力が拡大します。
さまざまなサイズの半導体シリコンウェーハに対応したプロセスと半導体製品
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半導体シリコンウェーハサイズ |
プロセス |
半導体製品 |
応用図 |
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6インチ以下 |
0.35um以上 |
ダイオード、トランジスタ、サイリスタなど 各種ディスクリートデバイス |
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8インチ |
90nm~0.35um |
センサーチップ、ドライバーチップ、パワーマネジメントチップ、RFチップなど |
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12インチ |
90nm以下 |
CPU、GPU、 ストレージチップ、FPGA、ASICなど |
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